真空排気ラインに流す流体をクリーンに加熱することにより、堆積物 の付着を防止します。従来のジャケットヒータに比べ、流体を直接、効率的に加熱する為、堆積物除去性能が飛躍的に上がります。

ガスラインに流す窒素を急速かつクリーンに加熱する装置。Heat Boyと併用すると更に効果的。配管内堆積物付着抑制等にも使用。

配管内に流れる粉体を除去する粉体除去トラップです。Heat Boyの後段に取り付けると、更に効果的です。タンク容量により、３種類あり。空冷ＢＯＸ追加（トラップ冷却）、バイブレータ追加（メンテ周期延長）他のオプション有り。

業界初の電気を使わない緊急排気ファン（停電対策用）。可燃性ガスの排気にも使用できます。取り付け方法は自由にレイアウト出来、既設排気ラインへも取り付け可能。

使用する石英管を自動で真空封止を行う装置。作業の安全性、効率化に寄与。

使用する石英管等を薬液で自動洗浄する装置。省スペース且つ飛躍的清浄度を実現。

排ガス除害を効率化し、コストを極限まで低減したウェットスクラバー
粉体トラップが不要で、コンパクトな設計。